High efficiency Al/Sc-based multilayer coatings in the EUV wavelength range above 40 nanometers
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Optique [physics.optics]| Origine | Fichiers produits par l'(les) auteur(s) |
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Optics Letters
Année : 2020
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Soumis le : samedi 24 février 2024-02:30:02
Dernière modification le : mercredi 13 mars 2024-18:24:17
Archivage à long terme le : samedi 25 mai 2024-18:03:40
Citer
Jennifer Rebellato, Regina Soufli, Evgueni Meltchakov, Eric Gullikson, Sébastien de Rossi, et al.. High efficiency Al/Sc-based multilayer coatings in the EUV wavelength range above 40 nanometers. Optics Letters, 2020, 45 (4), pp.869-872. ⟨10.1364/OL.384734⟩. ⟨hal-03350956⟩
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