Microlenses fabricated by ultraviolet excimer laser irradiation of poly(methyl methacrylate) followed by styrene diffusion

Sylvain Lazare 1 John Lopez 1 Jean-Marie Turlet 2 Maria Kufner 3 Stefan Kufner 3 Pierre Chavel 4
1 Laboratoire de Photochemie et Photophysique Moléculaire
2 CPMOH - Centre de physique moléculaire optique et hertzienne
3 TONA - Department of Applied Physics and Photonics [Brussels]
4 Laboratoire Charles Fabry de l'Institut d'Optique / Scop
LCFIO - Laboratoire Charles Fabry de l'Institut d'Optique
Abstract : A new technique of microlens array fabrication based on the use of excimer laser radiation is described. Poly(methyl methacrylate) (PMMA) substrates are treated with many low-energy KrF laser pulses and exposed to styrene vapor. The irradiated material swells, producing spherical microlenses that are stabilized by UV polymerization. The chemistry of this process and the optical quality of the lenses are discussed.
Type de document :
Article dans une revue
Applied optics, Optical Society of America, 1996, 35 (22), pp.4471-4475. 〈10.1364/AO.35.004471〉
Liste complète des métadonnées

Littérature citée [9 références]  Voir  Masquer  Télécharger
https://hal-iogs.archives-ouvertes.fr/hal-00877695
Contributeur : Fatima Pereira <>
Soumis le : mardi 29 octobre 2013 - 10:01:29
Dernière modification le : lundi 22 janvier 2018 - 11:02:02
Document(s) archivé(s) le : vendredi 7 avril 2017 - 17:39:52

Fichier

15_00954.pdf
Fichiers éditeurs autorisés sur une archive ouverte

Identifiants

Collections

IOGS | PARISTECH | LCFIO | LCF_SCOP | LOMA

Citation

Sylvain Lazare, John Lopez, Jean-Marie Turlet, Maria Kufner, Stefan Kufner, et al.. Microlenses fabricated by ultraviolet excimer laser irradiation of poly(methyl methacrylate) followed by styrene diffusion. Applied optics, Optical Society of America, 1996, 35 (22), pp.4471-4475. 〈10.1364/AO.35.004471〉. 〈hal-00877695〉

Exporter

BibTeX TEI DC DCterms EndNote

Partager

Métriques

Consultations de la notice

560

Téléchargements de fichiers

863

Contact

support.ccsd.cnrs.fr
hal.support@ccsd.cnrs.fr
Logo CCSD