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Conference papers
Optical, chemical, and depth characterization of Al/SiC periodic multilayers
Philippe Jonnard
1
Karine Le Guen
1
Min-Hui Hu
1
Jean-Michel André
1
Evgueni Meltchakov
2
Christophe Hecquet
2
Franck Delmotte
2
Anouk Galtayries
3
2
Laboratoire Charles Fabry de l'Institut d'Optique / Scop
LCFIO - Laboratoire Charles Fabry de l'Institut d'Optique
Philippe Jonnard 1
Author
Karine Le Guen 1
Author
Min-Hui Hu 1
Author
Jean-Michel André 1
Author IdHAL : jean-michel-andre ORCID : https://orcid.org/0000-0003-3639-1691
Evgueni Meltchakov 2
Author IdHAL : evgueni-meltchakov ORCID : https://orcid.org/0000-0002-3344-5124
Christophe Hecquet 2
Author IdHAL : christophe-hecquet
Franck Delmotte 2
Author
Anouk Galtayries 3
Author
1
LCPMR - Laboratoire de Chimie Physique - Matière et Rayonnement (11 Rue Pierre et Marie Curie 75231 Paris Cedex 05 - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR7614 (France)
- INC - Institut de Chimie du CNRS (3 Rue Michel-Ange 75 016 Paris - France)
- UPMC - Université Pierre et Marie Curie - Paris 6 (4 place Jussieu - 75005 Paris - France)
2
Laboratoire Charles Fabry de l'Institut d'Optique / Scop (France)
- LCFIO - Laboratoire Charles Fabry de l'Institut d'Optique (2, avenue Fresnel 91127 PALAISEAU cedex - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR8501 (France)
- IOGS - Institut d'Optique Graduate School (2 avenue Augustin Fresnel, 91127 Palaiseau Cedex - France)
- UP11 - Université Paris-Sud - Paris 11 (Bâtiment 300 - 91405 Orsay cedex - France)
3
LPCS - Laboratoire de Physico-Chimie des Surfaces (11 Rue Pierre et Marie Curie 75231 PARIS CEDEX 05 - France)
- ENSCP - Ecole Nationale Supérieure de Chimie de Paris - Chimie ParisTech-PSL (11, rue Pierre et Marie Curie
75231 Paris Cedex 05 - France)
- PSL - Université Paris sciences et lettres (60 rue Mazarine 75006 Paris - France)
- INC - Institut de Chimie du CNRS (3 Rue Michel-Ange 75 016 Paris - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR7045 (France)
Document type :
Conference papers
Domain :
Complete list of metadata
https://hal-iogs.archives-ouvertes.fr/hal-00661774
Contributor : Sébastien de Rossi Connect in order to contact the contributor
Submitted on : Friday, January 20, 2012 - 4:17:33 PM
Last modification on : Thursday, December 9, 2021 - 2:40:03 PM
Contributor : Sébastien de Rossi Connect in order to contact the contributor
Submitted on : Friday, January 20, 2012 - 4:17:33 PM
Last modification on : Thursday, December 9, 2021 - 2:40:03 PM
Identifiers
- HAL Id : hal-00661774, version 1
- DOI : 10.1117/12.820913
Collections
IOGS | LCFIO | LCF_SCOP | CNRS | ENSCP | LPCS | PARISTECH | LCPMR | UPMC | INC-CNRS | SORBONNE-UNIVERSITE | SU-SCIENCES | PSL | UNIV-PARIS-SACLAY
Citation
Philippe Jonnard, Karine Le Guen, Min-Hui Hu, Jean-Michel André, Evgueni Meltchakov, et al.. Optical, chemical, and depth characterization of Al/SiC periodic multilayers. EUV and X-Ray Optics: Synergy between Laboratory and Space, Apr 2009, Prague, Czech Republic. pp.73600, ⟨10.1117/12.820913⟩. ⟨hal-00661774⟩
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