Magnetron sputtered multilayer mirrors for x-rays and EUV - Institut d'Optique Graduate School Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2011

Magnetron sputtered multilayer mirrors for x-rays and EUV

Domaines

Optique [physics.optics]

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https://hal-iogs.archives-ouvertes.fr/hal-00625022

Soumis le : mardi 20 septembre 2011-14:14:35

Dernière modification le : mercredi 13 septembre 2023-15:47:45

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00625022 , version 1 (20-09-2011)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00625022 , version 1

Citer

Franck Delmotte, Fadi Choueikani, Ahmed Ziani, Charles Bourassin-Bouchet, Evgueni Meltchakov, et al.. Magnetron sputtered multilayer mirrors for x-rays and EUV. Advances in Optical Thin Films IV, Sep 2011, Marseille, France. ⟨hal-00625022⟩

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