Multilayers systems-based aluminum synthesized by ion beam sputtering for extreme UV

Ahmed Ziani (1, 2) , Franck Delmotte (2) , Claire Le Paven-Thivet (3) , Evgueni Meltchakov (2) , Françoise Bridou (2) , Arnaud Jérôme (2) , Marc Roulliay (4) , Karine Gasc (1)

1 CNES - Centre National d'Études Spatiales [Toulouse]
2 Laboratoire Charles Fabry de l'Institut d'Optique / Scop
3 IETR - Institut d'Electronique et de Télécommunications de Rennes
4 ISMO - Institut des Sciences Moléculaires d'Orsay

Domaines: Optique [physics.optics]

Ahmed Ziani, Franck Delmotte, Claire Le Paven-Thivet, Evgueni Meltchakov, Françoise Bridou, et al.. Multilayers systems-based aluminum synthesized by ion beam sputtering for extreme UV. Advances in Optical Thin Films IV, Sep 2011, Marseille, France. ⟨hal-00625021⟩