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Conference papers
Multilayers systems-based aluminum synthesized by ion beam sputtering for extreme UV
Ahmed Ziani
1, 2
Franck Delmotte
2
Claire Le Paven-Thivet
3
Evgueni Meltchakov
2
Françoise Bridou
2
Arnaud Jérôme
2
Marc Roulliay
4
Karine Gasc
1
2
Laboratoire Charles Fabry de l'Institut d'Optique / Scop
LCFIO - Laboratoire Charles Fabry de l'Institut d'Optique
Ahmed Ziani 1, 2
Author
Franck Delmotte 2
Author
Claire Le Paven-Thivet 3
Author
Evgueni Meltchakov 2
Author IdHAL : evgueni-meltchakov ORCID : https://orcid.org/0000-0002-3344-5124
1
CNES - Centre National d'Études Spatiales [Toulouse] (18 avenue Edouard Belin 31401 Toulouse - France)
2
Laboratoire Charles Fabry de l'Institut d'Optique / Scop (France)
- LCFIO - Laboratoire Charles Fabry de l'Institut d'Optique (2, avenue Fresnel 91127 PALAISEAU cedex - France)
- UP11 - Université Paris-Sud - Paris 11 (Bâtiment 300 - 91405 Orsay cedex - France)
- IOGS - Institut d'Optique Graduate School (2 avenue Augustin Fresnel, 91127 Palaiseau Cedex - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR8501 (France)
3
IETR - Institut d'Electronique et de Télécommunications de Rennes (Campus de Beaulieu Bâtiment 11D 35042 Rennes Cedex - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR6164 (France)
- Ecole Supérieure d'Electricité - SUPELEC (FRANCE) (France)
- INSA Rennes - Institut National des Sciences Appliquées - Rennes (20, avenue des Buttes de Coësmes - CS 70839 - 35708 Rennes cedex 7 - France)
- UR1 - Université de Rennes 1 (2 rue du Thabor - CS 46510 - 35065 Rennes cedex - France)
- UNIV-RENNES - Université de Rennes (France)
4
ISMO - Institut des Sciences Moléculaires d'Orsay (Université Paris-Sud 91405 Orsay cedex - France)
- UP11 - Université Paris-Sud - Paris 11 (Bâtiment 300 - 91405 Orsay cedex - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR8214 (France)
Document type :
Conference papers
Domain :
Complete list of metadatas
https://hal-iogs.archives-ouvertes.fr/hal-00625021
Contributor : Sébastien de Rossi <>
Submitted on : Tuesday, September 20, 2011 - 2:11:51 PM
Last modification on : Friday, January 8, 2021 - 3:42:57 AM
Contributor : Sébastien de Rossi <>
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Last modification on : Friday, January 8, 2021 - 3:42:57 AM
Identifiers
- HAL Id : hal-00625021, version 1
Collections
CNRS | UNIV-RENNES1 | SUPELEC | IOGS | LCF_SCOP | LCFIO | PARISTECH | IETR_MF | IETR | JYB-LAB | UR1-UFR-ISTIC | IETR-FUNMAT | UNIV-RENNES | INSA-GROUPE | INSA-RENNES
Citation
Ahmed Ziani, Franck Delmotte, Claire Le Paven-Thivet, Evgueni Meltchakov, Françoise Bridou, et al.. Multilayers systems-based aluminum synthesized by ion beam sputtering for extreme UV. Advances in Optical Thin Films IV, Sep 2011, Marseille, France. ⟨hal-00625021⟩
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