Multilayers systems-based aluminum synthesized by ion beam sputtering for extreme UV
Ahmed Ziani
(1, 2)
,
Franck Delmotte
(2)
,
Claire Le Paven-Thivet
(3)
,
Evgueni Meltchakov
(2)
,
Françoise Bridou
(2)
,
Arnaud Jérôme
(2)
,
Marc Roulliay
(4)
,
Karine Gasc
(1)
Franck Delmotte
- Function : Author
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- IdHAL : franck-delmotte
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Evgueni Meltchakov
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Françoise Bridou
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