Stabilité thermique des performances spectrales de miroirs EUV

Christophe Hecquet (1) , Franck Delmotte (1) , Marc Roulliay (2) , A. Rinchet (3) , Françoise Varniere (1) , Evgueni Meltchakov (1) , Marie-Françoise Ravet-Krill (1)

1 Laboratoire Charles Fabry de l'Institut d'Optique / Scop
2 LIXAM - Laboratoire d'interaction du rayonnement X avec la matière
3 SAGEM Défense Sécurité [Massy]

Domains: Optics [physics.optics]

Christophe Hecquet, Franck Delmotte, Marc Roulliay, A. Rinchet, Françoise Varniere, et al.. Stabilité thermique des performances spectrales de miroirs EUV. 9e Colloque sur les Sources Cohérentes et Incohérentes UV, VUV et X : Applications et Développements Récents, Oct 2008, dourdan, France. pp.183, ⟨10.1051/uvx/2009030⟩. ⟨hal-00598058⟩