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Conference papers

Stabilité thermique des performances spectrales de miroirs EUV

Christophe Hecquet 1 Franck Delmotte 1 Marc Roulliay 2 A. Rinchet 3 Françoise Varniere 1 Evgueni Meltchakov 1 Marie-Françoise Ravet-Krill 1 
1 Laboratoire Charles Fabry de l'Institut d'Optique / Scop
LCFIO - Laboratoire Charles Fabry de l'Institut d'Optique
2 LIXAM - Laboratoire d'interaction du rayonnement X avec la matière
3 SAGEM Défense Sécurité [Massy]
Document type :
Conference papers
Complete list of metadata
https://hal-iogs.archives-ouvertes.fr/hal-00598058
Contributor : Sébastien de Rossi Connect in order to contact the contributor
Submitted on : Friday, June 3, 2011 - 3:53:37 PM
Last modification on : Saturday, June 25, 2022 - 10:59:42 AM

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openaccess

Identifiers

Collections

IOGS | CNRS | PARISTECH | LCF_SCOP

Citation

Christophe Hecquet, Franck Delmotte, Marc Roulliay, A. Rinchet, Françoise Varniere, et al.. Stabilité thermique des performances spectrales de miroirs EUV. 9e Colloque sur les Sources Cohérentes et Incohérentes UV, VUV et X : Applications et Développements Récents, Oct 2008, dourdan, France. pp.183, ⟨10.1051/uvx/2009030⟩. ⟨hal-00598058⟩

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