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Conference papers
Stabilité thermique des performances spectrales de miroirs EUV
Christophe Hecquet
1
Franck Delmotte
1
Marc Roulliay
2
A. Rinchet
3
Françoise Varniere
1
Evgueni Meltchakov
1
Marie-Françoise Ravet-Krill
1
1
Laboratoire Charles Fabry de l'Institut d'Optique / Scop
LCFIO - Laboratoire Charles Fabry de l'Institut d'Optique
Christophe Hecquet 1
Author IdHAL : christophe-hecquet
Franck Delmotte 1
Author
Marc Roulliay 2
Author
A. Rinchet 3
Author
Françoise Varniere 1
Author
Evgueni Meltchakov 1
Author IdHAL : evgueni-meltchakov ORCID : https://orcid.org/0000-0002-3344-5124
Marie-Françoise Ravet-Krill 1
Author
1
Laboratoire Charles Fabry de l'Institut d'Optique / Scop (France)
- LCFIO - Laboratoire Charles Fabry de l'Institut d'Optique (2, avenue Fresnel 91127 PALAISEAU cedex - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR8501 (France)
- IOGS - Institut d'Optique Graduate School (2 avenue Augustin Fresnel, 91127 Palaiseau Cedex - France)
- UP11 - Université Paris-Sud - Paris 11 (Bâtiment 300 - 91405 Orsay cedex - France)
2
LIXAM - Laboratoire d'interaction du rayonnement X avec la matière (bat. 350 91405 ORSAY CEDEX - France)
- UP11 - Université Paris-Sud - Paris 11 (Bâtiment 300 - 91405 Orsay cedex - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR8624 (France)
3
SAGEM Défense Sécurité [Massy] (100 Avenue de Paris 91300 Massy - France)
Document type :
Conference papers
Domain :
Complete list of metadata
https://hal-iogs.archives-ouvertes.fr/hal-00598058
Contributor : Sébastien de Rossi Connect in order to contact the contributor
Submitted on : Friday, June 3, 2011 - 3:53:37 PM
Last modification on : Wednesday, September 16, 2020 - 5:43:26 PM
Contributor : Sébastien de Rossi Connect in order to contact the contributor
Submitted on : Friday, June 3, 2011 - 3:53:37 PM
Last modification on : Wednesday, September 16, 2020 - 5:43:26 PM
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Identifiers
- HAL Id : hal-00598058, version 1
- DOI : 10.1051/uvx/2009030
Citation
Christophe Hecquet, Franck Delmotte, Marc Roulliay, A. Rinchet, Françoise Varniere, et al.. Stabilité thermique des performances spectrales de miroirs EUV. 9e Colloque sur les Sources Cohérentes et Incohérentes UV, VUV et X : Applications et Développements Récents, Oct 2008, dourdan, France. pp.183, ⟨10.1051/uvx/2009030⟩. ⟨hal-00598058⟩
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