Improved spectral purity of EUV multilayer mirrors with optimized SiO2 top layer - Institut d'Optique Graduate School Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2008

Improved spectral purity of EUV multilayer mirrors with optimized SiO2 top layer

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Optique [physics.optics]

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https://hal-iogs.archives-ouvertes.fr/hal-00575958

Soumis le : vendredi 11 mars 2011-15:15:06

Dernière modification le : vendredi 24 mars 2023-14:52:54

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00575958 , version 1 (11-03-2011)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00575958 , version 1

Citer

Franck Delmotte, Aurélie Hardouin, Marie-Françoise Ravet-Krill, Françoise Bridou, Jérôme Arnaud, et al.. Improved spectral purity of EUV multilayer mirrors with optimized SiO2 top layer. The 9th International Conference 
on the 
Physics of X-Ray Multilayer Structures, Feb 2008, Big Sky Resort, United States. ⟨hal-00575958⟩

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