Improved spectral purity of EUV multilayer mirrors with optimized SiO2 top layer
Franck Delmotte
(1)
,
Aurélie Hardouin
(1)
,
Marie-Françoise Ravet-Krill
(1)
,
Françoise Bridou
(1)
,
Jérôme Arnaud
(1)
,
Françoise Varniere
(1)
,
Sébastien Hedacq
(2)
,
Benoît Albertin
(2)
Franck Delmotte
- Function : Author
- PersonId : 913971
- IdHAL : franck-delmotte
Françoise Bridou
- Function : Author
- PersonId : 920808