Skip to Main content Skip to Navigation
Other publications

Développement de nouvelles multicouches à base d'aluminium pour applications dans l'extrême ultraviolet

Evgueni Meltchakov 1 
1 Laboratoire Charles Fabry de l'Institut d'Optique / Scop
LCFIO - Laboratoire Charles Fabry de l'Institut d'Optique
Document type :
Other publications
Complete list of metadata
https://hal-iogs.archives-ouvertes.fr/hal-00822505
Contributor : Evgueni Meltchakov Connect in order to contact the contributor
Submitted on : Tuesday, May 14, 2013 - 5:40:16 PM
Last modification on : Saturday, June 25, 2022 - 11:00:47 AM

Identifiers

  • HAL Id : hal-00822505, version 1

Collections

IOGS | CNRS | PARISTECH | LCF_SCOP

Citation

Evgueni Meltchakov. Développement de nouvelles multicouches à base d'aluminium pour applications dans l'extrême ultraviolet. 2011. ⟨hal-00822505⟩

Export

BibTeX TEI DC DCterms EndNote Datacite

Share

Metrics

Record views

56