Développement de nouvelles multicouches à base d'aluminium pour applications dans l'extrême ultraviolet - Institut d'Optique Graduate School Access content directly
Other Publications Year : 2011

Développement de nouvelles multicouches à base d'aluminium pour applications dans l'extrême ultraviolet

Evgueni Meltchakov
Laboratoire Charles Fabry de l'Institut d'Optique / Scop

Domains

Optics [physics.optics]

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https://hal-iogs.archives-ouvertes.fr/hal-00822505

Submitted on : Tuesday, May 14, 2013-5:40:16 PM

Last modification on : Friday, March 24, 2023-2:52:57 PM

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Dates and versions

hal-00822505 , version 1 (14-05-2013)

Identifiers

  • HAL Id : hal-00822505 , version 1

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Evgueni Meltchakov. Développement de nouvelles multicouches à base d'aluminium pour applications dans l'extrême ultraviolet. 2011. ⟨hal-00822505⟩

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