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Développement de nouvelles multicouches à base d'aluminium pour applications dans l'extrême ultraviolet

Evgueni Meltchakov 1
1 Laboratoire Charles Fabry de l'Institut d'Optique / Scop
LCFIO - Laboratoire Charles Fabry de l'Institut d'Optique
Document type :
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https://hal-iogs.archives-ouvertes.fr/hal-00822505
Contributor : Evgueni Meltchakov <>
Submitted on : Tuesday, May 14, 2013 - 5:40:16 PM
Last modification on : Wednesday, September 16, 2020 - 5:38:35 PM

Identifiers

  • HAL Id : hal-00822505, version 1

Collections

CNRS | IOGS | PARISTECH | LCFIO | LCF_SCOP

Citation

Evgueni Meltchakov. Développement de nouvelles multicouches à base d'aluminium pour applications dans l'extrême ultraviolet. 2011. ⟨hal-00822505⟩

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