Développement de nouvelles multicouches à base d'aluminium pour applications dans l'extrême ultraviolet - Archive ouverte HAL Access content directly
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Développement de nouvelles multicouches à base d'aluminium pour applications dans l'extrême ultraviolet

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Evgueni Meltchakov
Laboratoire Charles Fabry de l'Institut d'Optique / Scop

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Physics [physics] Physics [physics] Optics [physics.optics]

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Submitted on : Tuesday, May 14, 2013-5:40:16 PM

Last modification on : Tuesday, December 27, 2022-3:53:15 PM

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hal-00822505 , version 1 (14-05-2013)

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  • HAL Id : hal-00822505 , version 1

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Evgueni Meltchakov. Développement de nouvelles multicouches à base d'aluminium pour applications dans l'extrême ultraviolet. 2011. ⟨hal-00822505⟩

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