Multicouches à base d'Aluminium pour l'EUV - Archive ouverte HAL Access content directly
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Multicouches à base d'Aluminium pour l'EUV

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Dates and versions

hal-00661781 , version 1 (20-01-2012)

Identifiers

  • HAL Id : hal-00661781 , version 1

Cite

Evgueni Meltchakov, Christophe Hecquet, Marc Roulliay, Arnaud Jérôme, Françoise Bridou, et al.. Multicouches à base d'Aluminium pour l'EUV. , 9e Colloque sur les Sources Cohérentes et Incohérentes UV, VUV et X : Applications et Développements Récents, Oct 2008, Dourdan, France. ⟨hal-00661781⟩
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