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Conference papers

Multicouches à base d'Aluminium pour l'EUV

Evgueni Meltchakov 1 Christophe Hecquet 1 Marc Roulliay 2 Arnaud Jérôme 1 Françoise Bridou 1 Françoise Varniere 1 Marie-Françoise Ravet 1 Franck Delmotte 1 
1 Laboratoire Charles Fabry de l'Institut d'Optique / Scop
LCFIO - Laboratoire Charles Fabry de l'Institut d'Optique
2 LIXAM - Laboratoire d'interaction du rayonnement X avec la matière
Document type :
Conference papers
Complete list of metadata
https://hal-iogs.archives-ouvertes.fr/hal-00661781
Contributor : Sébastien de Rossi Connect in order to contact the contributor
Submitted on : Friday, January 20, 2012 - 4:25:19 PM
Last modification on : Wednesday, September 16, 2020 - 5:42:16 PM

Identifiers

  • HAL Id : hal-00661781, version 1

Collections

IOGS | CNRS | PARISTECH | LCFIO | LCF_SCOP

Citation

Evgueni Meltchakov, Christophe Hecquet, Marc Roulliay, Arnaud Jérôme, Françoise Bridou, et al.. Multicouches à base d'Aluminium pour l'EUV. , 9e Colloque sur les Sources Cohérentes et Incohérentes UV, VUV et X : Applications et Développements Récents, Oct 2008, Dourdan, France. ⟨hal-00661781⟩

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