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Conference papers
Multicouches à base d'Aluminium pour l'EUV
Evgueni Meltchakov
1
Christophe Hecquet
1
Marc Roulliay
2
Arnaud Jérôme
1
Françoise Bridou
1
Françoise Varniere
1
Marie-Françoise Ravet
1
Franck Delmotte
1
1
Laboratoire Charles Fabry de l'Institut d'Optique / Scop
LCFIO - Laboratoire Charles Fabry de l'Institut d'Optique
Evgueni Meltchakov 1
Author IdHAL : evgueni-meltchakov ORCID : https://orcid.org/0000-0002-3344-5124
Christophe Hecquet 1
Author IdHAL : christophe-hecquet
Marc Roulliay 2
Author
Arnaud Jérôme 1
Author
Françoise Bridou 1
Author
Françoise Varniere 1
Author
Marie-Françoise Ravet 1
Author
Franck Delmotte 1
Author
1
Laboratoire Charles Fabry de l'Institut d'Optique / Scop (France)
- LCFIO - Laboratoire Charles Fabry de l'Institut d'Optique (2, avenue Fresnel 91127 PALAISEAU cedex - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR8501 (France)
- IOGS - Institut d'Optique Graduate School (2 avenue Augustin Fresnel, 91127 Palaiseau Cedex - France)
- UP11 - Université Paris-Sud - Paris 11 (Bâtiment 300 - 91405 Orsay cedex - France)
2
LIXAM - Laboratoire d'interaction du rayonnement X avec la matière (bat. 350 91405 ORSAY CEDEX - France)
- UP11 - Université Paris-Sud - Paris 11 (Bâtiment 300 - 91405 Orsay cedex - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR8624 (France)
Document type :
Conference papers
Domain :
Complete list of metadata
https://hal-iogs.archives-ouvertes.fr/hal-00661781
Contributor : Sébastien de Rossi Connect in order to contact the contributor
Submitted on : Friday, January 20, 2012 - 4:25:19 PM
Last modification on : Wednesday, September 16, 2020 - 5:42:16 PM
Contributor : Sébastien de Rossi Connect in order to contact the contributor
Submitted on : Friday, January 20, 2012 - 4:25:19 PM
Last modification on : Wednesday, September 16, 2020 - 5:42:16 PM
Identifiers
- HAL Id : hal-00661781, version 1
Citation
Evgueni Meltchakov, Christophe Hecquet, Marc Roulliay, Arnaud Jérôme, Françoise Bridou, et al.. Multicouches à base d'Aluminium pour l'EUV. , 9e Colloque sur les Sources Cohérentes et Incohérentes UV, VUV et X : Applications et Développements Récents, Oct 2008, Dourdan, France. ⟨hal-00661781⟩
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