Multicouches à base d'Aluminium pour l'EUV - Archive ouverte HAL

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Conference Papers Year :

Multicouches à base d'Aluminium pour l'EUV

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Evgueni Meltchakov

Function : Author
PersonId : 17114
IdHAL : evgueni-meltchakov
ORCID : 0000-0002-3344-5124
IdRef : 253123747

Laboratoire Charles Fabry de l'Institut d'Optique / Scop

Christophe Hecquet

Function : Author
PersonId : 177129
IdHAL : christophe-hecquet

Laboratoire Charles Fabry de l'Institut d'Optique / Scop

Marc Roulliay

Function : Author

Laboratoire d'interaction du rayonnement X avec la matière

Arnaud Jérôme

Function : Author

Laboratoire Charles Fabry de l'Institut d'Optique / Scop

Françoise Bridou

Function : Author
PersonId : 920808

Laboratoire Charles Fabry de l'Institut d'Optique / Scop

Françoise Varniere

Function : Author

Laboratoire Charles Fabry de l'Institut d'Optique / Scop

Marie-Françoise Ravet

Function : Author

Laboratoire Charles Fabry de l'Institut d'Optique / Scop

Franck Delmotte

Function : Author
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IdHAL : franck-delmotte

Laboratoire Charles Fabry de l'Institut d'Optique / Scop

Domains

Physics [physics] Physics [physics] Optics [physics.optics]

Sébastien de Rossi : Connect in order to contact the contributor

https://hal-iogs.archives-ouvertes.fr/hal-00661781

Submitted on : Friday, January 20, 2012-4:25:19 PM

Last modification on : Tuesday, February 7, 2023-2:44:47 PM

Dates and versions

hal-00661781 , version 1 (20-01-2012)

Identifiers

HAL Id : hal-00661781 , version 1

Cite

Evgueni Meltchakov, Christophe Hecquet, Marc Roulliay, Arnaud Jérôme, Françoise Bridou, et al.. Multicouches à base d'Aluminium pour l'EUV. , 9e Colloque sur les Sources Cohérentes et Incohérentes UV, VUV et X : Applications et Développements Récents, Oct 2008, Dourdan, France. ⟨hal-00661781⟩

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