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Conference papers

Multicouches à base d'Aluminium pour l'EUV

Document type :
Conference papers
Complete list of metadatas

https://hal-iogs.archives-ouvertes.fr/hal-00661781
Contributor : Sébastien de Rossi <>
Submitted on : Friday, January 20, 2012 - 4:25:19 PM
Last modification on : Wednesday, September 16, 2020 - 5:42:16 PM

Identifiers

  • HAL Id : hal-00661781, version 1

Collections

Citation

Evgueni Meltchakov, Christophe Hecquet, Marc Roulliay, Arnaud Jérôme, Françoise Bridou, et al.. Multicouches à base d'Aluminium pour l'EUV. , 9e Colloque sur les Sources Cohérentes et Incohérentes UV, VUV et X : Applications et Développements Récents, Oct 2008, Dourdan, France. ⟨hal-00661781⟩

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