Multicouches à base d'Aluminium pour l'EUV

Evgueni Meltchakov (1) , Christophe Hecquet (1) , Marc Roulliay (2) , Arnaud Jérôme (1) , Françoise Bridou (1) , Françoise Varniere (1) , Marie-Françoise Ravet (1) , Franck Delmotte (1)

1 Laboratoire Charles Fabry de l'Institut d'Optique / Scop
2 LIXAM - Laboratoire d'interaction du rayonnement X avec la matière

Domains: Optics [physics.optics]

Evgueni Meltchakov, Christophe Hecquet, Marc Roulliay, Arnaud Jérôme, Françoise Bridou, et al.. Multicouches à base d'Aluminium pour l'EUV. , 9e Colloque sur les Sources Cohérentes et Incohérentes UV, VUV et X : Applications et Développements Récents, Oct 2008, Dourdan, France. ⟨hal-00661781⟩