Multicouches à base d'Aluminium pour l'EUV
Evgueni Meltchakov
(1)
,
Christophe Hecquet
(1)
,
Marc Roulliay
(2)
,
Arnaud Jérôme
(1)
,
Françoise Bridou
(1)
,
Françoise Varniere
(1)
,
Marie-Françoise Ravet
(1)
,
Franck Delmotte
(1)
Evgueni Meltchakov
- Function : Author
- PersonId : 17114
- IdHAL : evgueni-meltchakov
- ORCID : 0000-0002-3344-5124
- IdRef : 253123747
Christophe Hecquet
- Function : Author
- PersonId : 177129
- IdHAL : christophe-hecquet
Françoise Bridou
- Function : Author
- PersonId : 920808
Franck Delmotte
- Function : Author
- PersonId : 913971
- IdHAL : franck-delmotte
- ORCID : 0000-0002-6769-6204