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Miroirs multicouches pour imageurs EUV

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1
Franck Delmotte
Laboratoire Charles Fabry de l'Institut d'Optique / Scop
CV

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Physics [physics] Physics [physics] Optics [physics.optics]

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https://hal-iogs.archives-ouvertes.fr/hal-00648743

Submitted on : Tuesday, December 6, 2011-1:17:15 PM

Last modification on : Thursday, December 29, 2022-3:29:22 AM

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Dates and versions

hal-00648743 , version 1 (06-12-2011)

Identifiers

  • HAL Id : hal-00648743 , version 1

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Franck Delmotte. Miroirs multicouches pour imageurs EUV. 2008. ⟨hal-00648743⟩

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