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Conference papers
EUV reflectivity and stability of tri-component Al-based multilayers
Evgueni Meltchakov
1
Ahmed Ziani
1
Sébastien de Rossi
1
Charles Bourassin-Bouchet
1
Françoise Bridou
1
Arnaud Jérôme
1
Fadi Choueikani
1
Françoise Varniere
1
Frédéric Auchère
2
Xueyan Zhang
2
Marc Roulliay
3
Franck Delmotte
1
1
Laboratoire Charles Fabry de l'Institut d'Optique / Scop
LCFIO - Laboratoire Charles Fabry de l'Institut d'Optique
Evgueni Meltchakov 1
Author IdHAL : evgueni-meltchakov ORCID : https://orcid.org/0000-0002-3344-5124
Ahmed Ziani 1
Author
Sébastien de Rossi 1
Author IdHAL : sebastien-de-rossi
Charles Bourassin-Bouchet 1
Author
Françoise Bridou 1
Author
Arnaud Jérôme 1
Author
Fadi Choueikani 1
Author
Françoise Varniere 1
Author
1
Laboratoire Charles Fabry de l'Institut d'Optique / Scop (France)
- LCFIO - Laboratoire Charles Fabry de l'Institut d'Optique (2, avenue Fresnel 91127 PALAISEAU cedex - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR8501 (France)
- IOGS - Institut d'Optique Graduate School (2 avenue Augustin Fresnel, 91127 Palaiseau Cedex - France)
- UP11 - Université Paris-Sud - Paris 11 (Bâtiment 300 - 91405 Orsay cedex - France)
2
IAS - Institut d'astrophysique spatiale (bat. 121 91405 ORSAY CEDEX - France)
- UP11 - Université Paris-Sud - Paris 11 (Bâtiment 300 - 91405 Orsay cedex - France)
- INSU - CNRS - Institut national des sciences de l'Univers (INSU-CNRS 3 rue Michel-Ange, 75794 Paris Cedex 16 - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR8617 (France)
3
ISMO - Institut des Sciences Moléculaires d'Orsay (Université Paris-Sud 91405 Orsay cedex - France)
- UP11 - Université Paris-Sud - Paris 11 (Bâtiment 300 - 91405 Orsay cedex - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR8214 (France)
Document type :
Conference papers
Domain :
Complete list of metadata
https://hal-iogs.archives-ouvertes.fr/hal-00625019
Contributor : Sébastien de Rossi Connect in order to contact the contributor
Submitted on : Tuesday, September 20, 2011 - 2:08:25 PM
Last modification on : Thursday, October 21, 2021 - 5:10:47 AM
Contributor : Sébastien de Rossi Connect in order to contact the contributor
Submitted on : Tuesday, September 20, 2011 - 2:08:25 PM
Last modification on : Thursday, October 21, 2021 - 5:10:47 AM
Identifiers
- HAL Id : hal-00625019, version 1
Citation
Evgueni Meltchakov, Ahmed Ziani, Sébastien de Rossi, Charles Bourassin-Bouchet, Françoise Bridou, et al.. EUV reflectivity and stability of tri-component Al-based multilayers. Advances in Optical Thin Films IV, Sep 2011, Marseille, France. ⟨hal-00625019⟩
Metrics
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