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Conference papers

Développement de miroirs multicouches à base d'Aluminium pour l'extrême ultraviolet

Evgueni Meltchakov 1
1 Laboratoire Charles Fabry de l'Institut d'Optique / Scop
LCFIO - Laboratoire Charles Fabry de l'Institut d'Optique
Document type :
Conference papers
Complete list of metadata

https://hal-iogs.archives-ouvertes.fr/hal-00575988
Contributor : Sébastien de Rossi Connect in order to contact the contributor
Submitted on : Friday, March 11, 2011 - 3:57:21 PM
Last modification on : Wednesday, September 16, 2020 - 5:43:37 PM

Identifiers

  • HAL Id : hal-00575988, version 1

Collections

Citation

Evgueni Meltchakov. Développement de miroirs multicouches à base d'Aluminium pour l'extrême ultraviolet. GDR Applix, Oct 2009, La Colle-sur-Loup, France. ⟨hal-00575988⟩

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