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Conference papers
Probing multilayer stack reflectors by low coherence interferometry in extreme ultraviolet
Sébastien de Rossi
1
Denis Joyeux
1
Pierre Chavel
1
Nelson de Oliveira
2
Marieke Richard
3
Christophe Constancias
3
Jean-Yves Robic
3
1
Laboratoire Charles Fabry de l'Institut d'Optique / Scop
LCFIO - Laboratoire Charles Fabry de l'Institut d'Optique
Sébastien de Rossi 1
Author IdHAL : sebastien-de-rossi
Denis Joyeux 1
Author
Pierre Chavel 1
Author IdHAL : pierre-chavel
Nelson de Oliveira 2
Author
1
Laboratoire Charles Fabry de l'Institut d'Optique / Scop (France)
- LCFIO - Laboratoire Charles Fabry de l'Institut d'Optique (2, avenue Fresnel 91127 PALAISEAU cedex - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR8501 (France)
- IOGS - Institut d'Optique Graduate School (2 avenue Augustin Fresnel, 91127 Palaiseau Cedex - France)
- UP11 - Université Paris-Sud - Paris 11 (Bâtiment 300 - 91405 Orsay cedex - France)
2
SSOLEIL - Synchrotron SOLEIL (L'Orme des Merisiers Saint-Aubin - BP 48 91192 GIF-sur-YVETTE CEDEX - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UR1 (France)
3
CEA-LETI - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information (MINATEC 17, rue des Martyrs, 38054, Grenoble Cedex 9 - France)
- DRT (CEA) - Direction de Recherche Technologique (CEA) : DRT (France)
- CEA - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives : DRT (Centre de Saclay Centre de Grenoble Centre de Cadarache etc - France)
Document type :
Conference papers
Domain :
Complete list of metadata
https://hal-iogs.archives-ouvertes.fr/hal-00575955
Contributor : Sébastien de Rossi Connect in order to contact the contributor
Submitted on : Friday, March 11, 2011 - 3:08:30 PM
Last modification on : Tuesday, January 11, 2022 - 3:36:58 AM
Contributor : Sébastien de Rossi Connect in order to contact the contributor
Submitted on : Friday, March 11, 2011 - 3:08:30 PM
Last modification on : Tuesday, January 11, 2022 - 3:36:58 AM
Identifiers
- HAL Id : hal-00575955, version 1
Collections
Citation
Sébastien de Rossi, Denis Joyeux, Pierre Chavel, Nelson de Oliveira, Marieke Richard, et al.. Probing multilayer stack reflectors by low coherence interferometry in extreme ultraviolet. The 9th International Conference
on the
Physics of X-Ray Multilayer Structures, Feb 2008, Big Sky Resort, United States. ⟨hal-00575955⟩
Metrics
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