Probing multilayer stack reflectors by low coherence interferometry in extreme ultraviolet
Sébastien de Rossi
(1)
,
Denis Joyeux
(1)
,
Pierre Chavel
(1)
,
Nelson de Oliveira
(2)
,
Marieke Richard
(3)
,
Christophe Constancias
(3)
,
Jean-Yves Robic
(3)
Sébastien de Rossi
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Denis Joyeux
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Pierre Chavel
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