Secondary Ion Mass Spectrometry SIMS, Scanning Ion Microscope SIM, Secondary Neutral Mass Spectrometry SNMS (via post-ionisation).

Spectrométrie d'émission d'ions secondaires

Ludovic Douillard (1, 2, 3)

1 SPEC - UMR3680 - Service de physique de l'état condensé
2 SPCSI - Service de Physique et de Chimie des Surfaces et Interfaces
3 SRSIM - Service de Recherche sur les Surface et l'Irradiation de la Matière

Analyse des ions secondaires (masse/charge) produits par pulvérisation ionique de la surface de l’échantillon.

Mots clés: Secondary Ion Mass Spectrometry SIMS; Scanning Ion Microscope SIM; Secondary Neutral Mass Spectrometry SNMS (via post-ionisation)

Domaines: Physique [physics]

Ludovic Douillard. Spectrométrie d'émission d'ions secondaires. Master. Université Paris-Saclay, France, France. 2023. ⟨hal-04487573⟩