High aspect ratio submicrometer two-dimensional structures fabricated by one-photon absorption direct laser writing

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Microsystem Technologies, Springer Verlag, 2014, 20 (10), pp.2097-2102. 〈10.1007/s00542-014-2096-9〉
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Contributeur : Marie-Laure Edwards <>
Soumis le : vendredi 29 juillet 2016 - 14:07:48
Dernière modification le : jeudi 5 avril 2018 - 12:30:06

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Citation

Mai Trang Do, Qinggele Li, Thi Thanh Ngan Nguyen, Henri Benisty, Isabelle Ledoux-Rak, et al.. High aspect ratio submicrometer two-dimensional structures fabricated by one-photon absorption direct laser writing. Microsystem Technologies, Springer Verlag, 2014, 20 (10), pp.2097-2102. 〈10.1007/s00542-014-2096-9〉. 〈hal-01349941〉

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